測量參數

Ra 、 Rp 、 Rv 、 Rt 、 Rz 、 Rq 、 Rsk 、 Rku 、 Rc 、 RPc 、 RSm 、 Rmr （ c ）、 tp 、 Rmr 、 Rpm 、

Rz1max 、 RzJIS 、 Rmax 、 Htp 、 R δ c 、 R △ q 、 R △ a 、 Rk 、 Rpk 、 Rvk 、 Mr1 、 Mr2 、 A1 、 A2

Pa 、 Pp 、 Pv 、 Pt 、 Pz 、 Pq 、 Psk 、 Pku 、 Pc 、 PSm 、 Pmr （ c ）、 Pmr 、 Pz1max 、 PzJIS 、

P δ c 、 P △ q

傳感器

檢測原理

電感式

測量范圍

400μm

針尖半徑

5μm

針尖材料

金剛石

觸針測力

4mN

觸針角度

90°

導頭縱向半徑

45mm

大驅動行程

19mm

量程和分辨力

量程

分辨力

± 25μm

0.001μm

± 200μm

0.008μm

波方式

2RC 、 GAUSS

取樣長度

0.08mm ， 0.25mm ， 0.8mm ， 2.5mm

評定長度

1L ~ 5L （可選， L 為取樣長度）

示值誤差

± 10%

示值重復性

≤ 6%

工作環境

溫度： 0 ℃ ~ 40 ℃

濕度：＜ 90% RH

外形尺寸及重量

主機： 155.4mm × 75mm × 53mm ，約 580g

驅動器：Ф 26mm × 132.5mm ，約 179g

電源

內置電池：鋰離子充電電池

電源適配器：輸入： 100V ~ 240VAC ， 50/60Hz

輸出： 9V ， 3A

標準配置

主機、傳感器、驅動器、充電器、樣塊、前后護套、探桿（ 4 根）